• 關鍵詞：TELEDYNE,DALSA,MEMS,運動傳感器
• 摘要：Teledyne DALSA通用的慣性傳感器平臺是我們的MEMS工具箱中的一個子集，是為加速度計，陀螺儀和慣性測量單元（IMU）配備的。

MEMS應用

從手機的RF芯片，通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀，汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫(yī)療系統(tǒng)用的微流體器件，Teledyne DALSA都已經(jīng)量產(chǎn)，并且為這些創(chuàng)新的MEMS應用提高性能的同時降低尺寸和功耗。聯(lián)系我們，討論MEMS制造的挑戰(zhàn) Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS應用： 壓力傳感器　　運動傳感器　　BioMEMS　　微鏡　　硅通孔　　射頻MEMS

運動傳感器

>>動作感應速度計，陀螺儀

加速度計，陀螺儀和慣性測量單元

近年來，MEMS運動傳感器已被廣泛應用在手持設備和汽車里，這種趨勢將進一步加快和多樣化，因為設計和制造商已經(jīng)發(fā)現(xiàn)這些器件的潛力。

Teledyne DALSA通用的慣性傳感器平臺是我們的MEMS工具箱中的一個子集，是為加速度計，陀螺儀和慣性測量單元（IMU）配備的。這其中關鍵的制程模組包括 深反應離子刻蝕（DRIE）, 聚合物硅通孔（poly thru-silicon vias）, 和晶園鍵合 –包括為實現(xiàn)高Q值陀螺儀的真空下晶園鍵合。我們 特有的研磨和CMP技術使得我們不再需要昂貴的SOI晶園。我們的制程是為完全的晶園級封裝設計的，可以實現(xiàn)晶園級ASIC和MEMS硅片封裝，通過銅填充的硅穿孔（TSV）連接外部I/O接口。