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納米級旋轉(zhuǎn)：氣浮轉(zhuǎn)臺如何顛覆半導(dǎo)體與精密制造？

納米級旋轉(zhuǎn)：氣浮轉(zhuǎn)臺如何顛覆半導(dǎo)體與精密制造？

產(chǎn)品簡介：

AAR系列氣浮轉(zhuǎn)臺具備卓越的定位性能，其最高定位精度可達(dá)1.14arcsec，重復(fù)定位精度可達(dá)0.61arcsec。此外，我們亦可提供定制化設(shè)計服務(wù)，根據(jù)客戶的具體要求進(jìn)行產(chǎn)品優(yōu)化。

產(chǎn)品分類：

電機 其它

品牌：

雅科貝思

產(chǎn)品介紹


氣浮轉(zhuǎn)臺

圖片1.png

核心組件：

  • 電機：作為動力源，驅(qū)動轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)，通常采用無框力矩電機。

  • 氣浮軸承系統(tǒng)：通過高壓氣體在轉(zhuǎn)臺底部形成空氣墊，實現(xiàn)無接觸支撐，減少摩擦。

  • 光柵及讀頭：檢測并反饋回轉(zhuǎn)角度，是實現(xiàn)高精度定位精度、重復(fù)定位精度、靜態(tài)抖動的基礎(chǔ)。

  • 回轉(zhuǎn)臺面或Chuck：實現(xiàn)極小端面跳動&徑向跳動的支撐安裝面，其平面度&平行度會直接影響最終的跳動值。




氣浮軸承的結(jié)構(gòu)分類



根據(jù)支撐方式可分為：“工”字形、“十”字形、錐形。

圖片2.png

其中，“工”字形和“十”字形承載能力大，但結(jié)構(gòu)件數(shù)量多、整體尺寸更高；錐形結(jié)構(gòu)簡單、高度尺寸小，但相應(yīng)的承載能力和氣浮剛度低。



氣浮轉(zhuǎn)臺的優(yōu)勢



相比于機械轉(zhuǎn)臺，氣浮轉(zhuǎn)臺的優(yōu)勢為：


微信截圖_20250325174802.png

軸線徑向、軸向跳動，擺動圖示

無摩擦運動



氣浮軸承支撐消除機械接觸，減少磨損，延長使用壽命。


隨機位置坐標(biāo)觸發(fā)



軸向/徑向回轉(zhuǎn)精度＜±20nm，定位精度＜±1.1arcsec，雙向重復(fù)定位精度＜±0.1 arcsec，靜態(tài)抖動＜±0.3arcsec，擺動＜0.5arcsec。

*（此為特定條件下的樣機測試精度，具體歡迎咨詢我們的技術(shù)專家。）


低振動與噪聲



氣浮技術(shù)顯著降低運動中的振動干擾，適用于超精密環(huán)境。




應(yīng)用場景



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■ 半導(dǎo)體工業(yè)：

晶圓切割、晶圓檢測、晶圓研磨/減薄設(shè)備；

■ 光學(xué)制造與檢測：

工業(yè)CT、激光加工、光纖對準(zhǔn)、超精密車床、五軸加工中心、激光反射鏡等元件的精密加工與角度標(biāo)定；

■ 精密測量：

光學(xué)輪廓儀、圓柱度儀、結(jié)合多軸運動臺實現(xiàn)三維空間內(nèi)的高分辨率位移檢測；

■ 科研實驗：

如量子計算設(shè)備中的超低溫環(huán)境運動控制，或材料力學(xué)性能測試；

■ 航空航天：

航空發(fā)動機葉片加工與檢測、衛(wèi)星姿態(tài)控制測試、慣性導(dǎo)航設(shè)備測試及校準(zhǔn)等；

■ 醫(yī)療：

CT、MRI醫(yī)療影像設(shè)備中，氣浮轉(zhuǎn)臺用于承載和旋轉(zhuǎn)掃描部件。



 AAR系列氣浮轉(zhuǎn)臺



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關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)：

1.     軸線&徑向回轉(zhuǎn)精度：

  • AAR150、AAR200軸線&徑向回轉(zhuǎn)精度＜0.1μm；

  • AAR250、AAR300軸線回轉(zhuǎn)精度＜0.1μm，徑向回轉(zhuǎn)精度＜0.25μm。

2.     角擺：

  • AAR150角擺＜2arcsec；

  • AAR200角擺＜0.7arcsec；

  • AAR250、AAR300角擺＜0.5arcsec。

3.     定位精度&重復(fù)定位精度：

AAR系列氣浮轉(zhuǎn)臺具備卓越的定位性能，其最高定位精度可達(dá)1.14arcsec，重復(fù)定位精度可達(dá)0.61arcsec。該系列提供多種標(biāo)準(zhǔn)型號，包括AAR150、AAR200、AAR250及AAR300，以滿足不同應(yīng)用場景的需求。此外，我們亦可提供定制化設(shè)計服務(wù)，根據(jù)客戶的具體要求進(jìn)行產(chǎn)品優(yōu)化。
（注：上述性能指標(biāo)基于樣機在特定測試環(huán)境及條件下測得，具體測試參數(shù)與詳細(xì)信息請咨詢我們的工程師。）


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電話：021-58595800

官網(wǎng)：www.akribis-sys.cn



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