"電壓免疫"伺服如何提升0.5%良率?鳴志M5交流伺服系統(tǒng)通過SEMI F47權(quán)威認證
SEMI F47標準:
半導(dǎo)體制造設(shè)備的電壓暫降防護基準
SEMI F47 Standard:
Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity
“2022年7月27日,臺灣媒體報道,臺灣某科學(xué)園區(qū)發(fā)生電力瞬間電壓下降情況,造成園區(qū)內(nèi)某半導(dǎo)體制造工廠受到影響。雖然事后涉事廠商出面澄清,該科學(xué)園區(qū)的電壓暫降事件沒有造成完全停電,生產(chǎn)也已逐步恢復(fù)。但有爆料稱,該工廠5nm及4nm產(chǎn)線仍出現(xiàn)晶圓報廢的情況?!?/p>
在半導(dǎo)體行業(yè),電力供應(yīng)的穩(wěn)定性對生產(chǎn)至關(guān)重要。尤其是在晶圓制造過程中,電壓暫降可能直接影響光刻機,化學(xué)機械拋光(CMP)以及刻蝕工藝等晶圓生產(chǎn)設(shè)備,微小的電壓波動都可能導(dǎo)致生產(chǎn)設(shè)備發(fā)生故障甚至停工,導(dǎo)致整批晶圓報廢,帶來數(shù)億美元的經(jīng)濟損失。為了解決這個問題,1999年,國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI),制定了SEMI F47標準,以規(guī)范半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備對電壓暫降(Voltage Sag)的耐受能力。
SEMI F47標準規(guī)定,半導(dǎo)體制造設(shè)備必須在特定的電壓暫降情況下仍能保持正常運行。例如,50Hz條件下,當(dāng)供電電壓降至標稱值的50%時,設(shè)備應(yīng)能維持至少0.2秒的運行(10 cycles);電壓降至70%時,設(shè)備應(yīng)持續(xù)運行0.5秒(25 cycles);電壓降至80%時,設(shè)備應(yīng)能夠支撐至少1秒(50 cycles),具體如下圖表所示。這一標準的實施,極大地提高了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備抵抗電網(wǎng)波動的能力,確保了半導(dǎo)體制造工藝的連續(xù)性。
鳴志M5交流伺服:符合SEMI F47標準,確保半導(dǎo)體設(shè)備穩(wěn)定運行
在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中,交流伺服驅(qū)動器與電機作為執(zhí)行系統(tǒng)的關(guān)鍵零部件,已得到廣泛應(yīng)用。針對半導(dǎo)體行業(yè)對電壓暫降防護的嚴格要求,鳴志(MOONS')重磅推出了符合SEMI F47標準的M5交流伺服系統(tǒng),通過創(chuàng)新設(shè)計與性能優(yōu)化,成為少數(shù)符合SEMI F47標準的國產(chǎn)伺服產(chǎn)品。M5交流伺服系統(tǒng)采用寬電壓輸入設(shè)計,并集成了電壓暫降補償技術(shù),能夠有效抵抗電壓波動,為半導(dǎo)體設(shè)備提供了高可靠性解決方案,助力實現(xiàn)生產(chǎn)零中斷。
M5交流伺服系統(tǒng)的領(lǐng)先優(yōu)勢:
一、符合SEMI F47-0706標準
M5系列交流伺服系統(tǒng)已通過SGS-CSTC標準技術(shù)實驗室( Laboratory of SGS-CSTC Standards Technical Services )權(quán)威測試,M5交流伺服均順利通過了SEMI F47-0706標準認證,滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的要求,對于其他需要抵抗電壓暫降、滿足連續(xù)運行的設(shè)備場合,如光伏、鋰電、3C電子、醫(yī)療等行業(yè),滿足SEMI F47標準的M5交流伺服系統(tǒng)也將成為設(shè)備穩(wěn)定運行的可靠方案。
二、 安全功能與快速響應(yīng)
STO(安全轉(zhuǎn)矩關(guān)閉):硬件級保護機制可在電壓異常時瞬間切斷功率輸出,避免設(shè)備損壞,同時通過UL Solutions SIL3/PLe/Cat4功能安全認證,符合IEC 61508等國際標準。
3.5kHz高速響應(yīng):基于26位高精度編碼器與先進算法,速度環(huán)帶寬達行業(yè)領(lǐng)先水平,確保在電壓恢復(fù)后迅速重載運行,減少生產(chǎn)停頓。
三、 寬電壓輸入與動態(tài)擾動補償機制
M5系列伺服驅(qū)動器支持AC220V/400V寬電壓輸入,功率范圍為50W-7500W,可適應(yīng)不同區(qū)域和復(fù)雜電力環(huán)境,增強系統(tǒng)兼容性。并內(nèi)置動態(tài)擾動補償功能,可實時抑制因電壓波動導(dǎo)致的電機換向誤差,確保在電壓暫降期間維持軌跡精度。
四、適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
尤其適用于光刻機、刻蝕設(shè)備、化學(xué)機械拋光(CMP)設(shè)備等對電源穩(wěn)定性要求極高的半導(dǎo)體制造設(shè)備。

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